|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Radical Production in RF CCP Discharge at 81 MHz Frequency in CHF3/Ar and CF4/Ar Mixtures. Theory and Experimentстатья
- Авторы: Malykhin E.M., Braginsky O.V., Kovalev A.S., Lopaev D.V., Proshina O.V., Rakhimova T.V., Rakhimov A.T., Vasilieva A.N., Zyryanov S.M.
- Сборник: Proceedings of International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC 19), July 27-31 2009, Bochum, Germany
- Год издания: 2009
- Место издания: Bochum, Germany
- Первая страница: 362
- Добавил в систему: Лопаев Дмитрий Викторович