Аннотация:В работе представлены результаты структурных, механических и оптических исследований тонких алмазоподобных углеродных (DLC) пленок, которые рассматриваются в качестве функциональных слоев фотоэлектрических преобразователей. Установлены закономерности изменения структуры, оптических и электрических свойств при вариации температуры подложки. При низких температурах формируются алмазоподобные углеродные DLC а-С пленки, а при высоких температурах происходит их графитизация. Синтезированные пленки являются нанокомпозитами, состоящими из кристаллов графита, окруженных областями аморфной фазы.