|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Особенности распыления кремниевых и углеродных мишеней ускоренными ионами фуллерена C60статья
- Авторы: Малеев М.В., Зубарев Е.Н., Пуха В.Е., Дроздов А.Н., Вус А.С., Девизенко А.Ю.
- Журнал: Физическая инженерия поверхности
- Том: 13
- Номер: 1
- Год издания: 2015
- Первая страница: 91
- Последняя страница: 104
- Аннотация: В работе исследованы закономерности роста пленок и эрозии поверхности при облучении мишеней из углерода и кремния пучком ускоренных ионов С60 с энергией в интервале 2,5–24 кэВ при температуре мишеней 373 K. Установлено, что рост углеродных пленок на поверхности облучаемых кремниевых мишеней наблюдается до энергий ионов 7 кэВ, а на поверхности углерода до 19 кэВ. При энергии ионов выше указанных значений пленка на поверхности не формируется и наблюдается эрозия материала мишеней. Исследованы структура и механические свойства углеродных пленок, выращенных в интервале энергий ионов фуллерена 2,5–11,5кэВ.
- Добавил в систему: Пуха Владимир Егорович