Морфологические особенности (100)-текстурированных поликристаллических алмазных пленокстатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 7 июля 2020 г.
Аннотация:Представлены результаты исследования морфологических особенностей поликристаллических
(100)-текстурированных алмазных пленок, полученных методом газофазного химического осаждения и состоящих из кристаллитов микрометрового размера и разупорядоченного углеродного материала. Полученные пленки нагревали на воздухе до температуры, обеспечивающей селективное
удаление низкоупорядоченного углеродного материала. Структурно-морфологические особенности образцов изучали с помощью электронной микроскопии. На основе полученных экспериментальных данных разработана модель процесса формирования пленок. Справедливость модели подтверждена соответствием выполненного на ее основе компьютерного моделирования и экспериментальных данных.