Аннотация:Предложено измерять толщину зондового слоя объёмного заряда и массу ионов в максвелловской плазме низкого давления на основе результатов стандартных зондовых измерений, используя эффект Бома, закон Больцмана и «закон 3/2» в случае их справедливости для изучаемой плазмы. Реализация данной возможности была обеспечена аккуратной зондовой диагностикой высокочастотной ксеноновой плазмы индукционного разряда при давлении 2 мТорр. Анализ полученных результатов показал справедливость указанных законов и эффекта Бома с «инженерной» точностью, что позволило найти коэффициент Бома ≈1,23 для цилиндрического зонда, составивший основу предложенного метода.