|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Молекулярно-динамическое моделирование воздействия на кремний ионов инертных газов низкой энергиистатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 16 сентября 2020 г.
- Авторы: Сычева А.А., Воронина Е.Н.
- Журнал: Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования
- Номер: 8
- Год издания: 2020
- Издательство: ФГБУ "Издательство "Наука"
- Местоположение издательства: Москва
- Первая страница: 61
- Последняя страница: 69
- DOI: 10.31857/S1028096020080166
- Аннотация: Моделирование воздействия ионов инертных газов (He, Ne, Ar, Kr, Xe) с энергией 50−500 эВ на кристаллический кремний проводилось методом молекулярной динамики с накоплением повреждений. На основании выполненного анализа структурных изменений приповерхностных слоев материала продемонстрированы существенные различия в механизмах повреждения кремния легкими и тяжелыми частицами. Показано, что при воздействии на материал ионов Xe и в особенности ионов He внедренные в материал атомы образуют наиболее крупные кластеры.
- Добавил в систему: Сычева Анастасия Александровна