|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
ПРОГРАММНЫЙ КОМПЛЕКС ДЛЯ СИСТЕМ ДИФРАКТОМЕТРИЧЕСКОГО КОНТРОЛЯ И ИЗМЕРЕНИЯ ГЕОМЕТРИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ ЭЛЕМЕНТОВ ТОПОЛОГИИ ИМСстатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК- Авторы: Беневоленский С.Б., Истомина Н.Л., Смирнова А.А., Спыну М.В.
- Журнал: Известия высших учебных заведений. Электроника
- Год издания: 2008
- Издательство: Национальный исследовательский университет "Московский институт электронной техники"
- Местоположение издательства: Москва
- Первая страница: 83
- Последняя страница: 84
- Добавил в систему: Истомина Наталья Леонидовна