|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Drop-microprobe identification of microinclusions in surface layers of semiconductor supports for SBISтезисы доклада
- Авторы: Kletskina E.V., Alimova A.N., Borzenko A.G., Guimelfarb F.A.
- Сборник: Abstracts of Papers, Microelectronics’94
- Тезисы
- Год издания: 1994
- Место издания: Zvenigorod (Russia)
- Первая страница: 521
- Последняя страница: 522
- Добавил в систему: Проскурнина Елена Васильевна