Аннотация:Рассматривается обратная задача контроля процесса напыления многослойных оптических покрытий с использованием оптического контроля. Вводится новый нелокальный алгоритм обработки данных измерений. На основе симуляции процесса напыления сравниваются ошибки, возникающие в случае использования традиционного локального и предложенного нелокального алгоритмов анализа данных измерений. Рассматривается схема коррекции уровней остановки напыления слоев оптических покрытий, позволяющая повысить точность контроля напыления. Поазывается, что нелокальный алгоритм оказывается более эффективным как в случае напыления без коррекции данных измерений, так и при использовании коррекции этих данных.