|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Maskless nanolithography on the basis of microfocus X-ray tubes: Conversion of electron energy into the BeKα lineстатья
- Авторы: Chkhalo N.I., Lopatin A.Ya, Pestov A.E., Salashchenko N.N., Demin G.D., Dyuzhev N.A., Makhiboroda M.A.
- Сборник: Proceedings of SPIE
- Том: 11022
- Год издания: 2019
- Место издания: SPIE
- Добавил в систему: Демин Глеб Дмитриевич