Сглаживание наношероховатостей поверхности полиметилметакрилата вакуумным ультрафиолетом

Лапшин, Р.В.; Алехин, А.П.; Кириленко, А.Г.; Одинцов, С.Л.; Кротков, В.А.

Авторы: Лапшин Р.В., Алехин А.П., Кириленко А.Г., Одинцов С.Л., Кротков В.А.
Журнал: Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования
Номер: 1
Год издания: 2010
Издательство: ФГБУ "Издательство "Наука"
Местоположение издательства: Москва
Первая страница: 5
Последняя страница: 16
Аннотация: Исследовалось сглаживание нанометрового масштаба неровностей пленки полиметилметакрилата (ПММА) вакуумным ультрафиолетом (ВУФ) с длиной волны λ=123.6 нм. В ходе ВУФ-обработки варьировались продолжительность воздействия и остаточное давление воздуха в рабочей камере. В качестве облучаемой поверхности использовалась наноструктурированная поверхность пленки ПММА. Наноструктурирование поверхности получено обработкой в кислородной высокочастотной плазме исходной гладкой пленки ПММА, приготовленной центрифугированием. Степень воздействия ВУФ оценивалось по изменению морфологии и шероховатости рельефа наноструктурированной поверхности. Измерение рельефа поверхности пленки ПММА выполнено методом атомно-силовой микроскопии (АСМ). Выявление на АСМ-изображении морфологических особенностей поверхности и определение их основных геометрических параметров произведено методом виртуального особенность-ориентированного сканирования. В ходе детального изучения морфологии и фурье- спектров было обнаружено, что наноструктурированная поверхность пленки ПММА является частично упорядоченной. Разработанная методика ВУФ-сглаживания может использоваться при обработке электронных, УФ- и рентгеночувствительных ПММА-резистов, ПММА-элементов микроэлектромеханических устройств, биомедицинских ПММА-имплантантов, а также при аттестации нанотехнологических установок, в состав которых входят источники УФ-излучения.
Добавил в систему: Лапшин Ростислав Владимирович

	ИСТИНА	Войти в систему Регистрация
	ИСТИНА ИНХС РАН
	Главная Поиск Статистика О проекте Помощь

ИСТИНА

ИСТИНА ИНХС РАН

Сглаживание наношероховатостей поверхности полиметилметакрилата вакуумным ультрафиолетомстатья

Прикрепленные файлы