|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Термомеханическая чувствительность неохлаждаемого биматериального приёмника ИК-диапазона, построенного по технологии микрооптомеханических системстатья
- Авторы: Хафизов Р.З., Фетисов Е.А., Лапшин Р.В., Кириленко Е.П., Анастасьевская В.Н., Колпаков И.В.
- Журнал: Успехи прикладной физики
- Том: 1
- Номер: 4
- Год издания: 2013
- Первая страница: 520
- Последняя страница: 523
- Аннотация: Дана методика определения термомеханической чувствительности неохлаждаемого ИК-приёмника, использующего биматериальный эффект для преобразования энергии падающего ИК-излучения в механический отклик. Механический отклик в виде плоскопараллельного смещения мембраны, закреплённой на биматериальных микроконсолях, преобразуется далее в оптический отклик. Для измерения термомеханической чувствительности собран исследовательский оптико-электронный стенд, основой которого является оптический профилометр (интерференционный микроскоп) с субнанометровым вертикальным разрешением. Биматериальный ИК-приёмник изготовлен по технологии микрооптомеханических систем (МОМС) для работы в диапазоне 8-14 мкм. Термомеханическая чувствительность приёмника при измерениях на воздухе составила 7,5 нм/К.
- Добавил в систему: Лапшин Ростислав Владимирович
Прикрепленные файлы
| № | Имя | Описание | Имя файла | Размер | Добавлен |
|---|---|---|---|---|---|
| 1. | Полный текст | R._Z._Khafizov_et_al._Thermomechanical_sensitivity_of_uncoo… | 755,2 КБ | 31 июля 2020 [Lapshin] |