Термомеханическая чувствительность неохлаждаемого биматериального приёмника ИК-диапазона, построенного по технологии микрооптомеханических систем

Хафизов, Р.З.; Фетисов, Е.А.; Лапшин, Р.В.; Кириленко, Е.П.; Анастасьевская, В.Н.; Колпаков, И.В.

Авторы: Хафизов Р.З., Фетисов Е.А., Лапшин Р.В., Кириленко Е.П., Анастасьевская В.Н., Колпаков И.В.
Журнал: Успехи прикладной физики
Том: 1
Номер: 4
Год издания: 2013
Первая страница: 520
Последняя страница: 523
Аннотация: Дана методика определения термомеханической чувствительности неохлаждаемого ИК-приёмника, использующего биматериальный эффект для преобразования энергии падающего ИК-излучения в механический отклик. Механический отклик в виде плоскопараллельного смещения мембраны, закреплённой на биматериальных микроконсолях, преобразуется далее в оптический отклик. Для измерения термомеханической чувствительности собран исследовательский оптико-электронный стенд, основой которого является оптический профилометр (интерференционный микроскоп) с субнанометровым вертикальным разрешением. Биматериальный ИК-приёмник изготовлен по технологии микрооптомеханических систем (МОМС) для работы в диапазоне 8-14 мкм. Термомеханическая чувствительность приёмника при измерениях на воздухе составила 7,5 нм/К.
Добавил в систему: Лапшин Ростислав Владимирович

	ИСТИНА	Войти в систему Регистрация
	ИСТИНА ИНХС РАН
	Главная Поиск Статистика О проекте Помощь

ИСТИНА

ИСТИНА ИНХС РАН

Термомеханическая чувствительность неохлаждаемого биматериального приёмника ИК-диапазона, построенного по технологии микрооптомеханических системстатья

Прикрепленные файлы