|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Механика процессов выращивания и термообработки монокристаллического кремниястатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАКДата последнего поиска статьи во внешних источниках: 10 февраля 2021 г.
- Авторы: Верезуб Н.А., Простомолотов А.И.
- Журнал: Известия Российской академии наук. Механика твердого тела
- Номер: 5
- Год издания: 2020
- Первая страница: 51
- Последняя страница: 63
- Переводные версии: Mechanics of Growing and Heat Treatment Processes of Monocrystalline Silicon , Mechanics of Growing and Heat Treatment Processes of Monocrystalline Silicon
- DOI: 10.31857/S0572329920040157
- Аннотация: http://mtt.ipmnet.ru/ru/Issues.php?y=2020&n=5&p=51 Одной из актуальных задач механики является изучение закономерностей термомеханических процессов, влияющих на образование микродефектов в бездислокационных монокристаллах кремния как на стадии их выращивания из расплава основной промышленной технологией, именуемой методом Чохральского, так и при последующих технологиях термообработки вырезаемых из них пластин. Это требует разработки сопряженных термомеханических моделей как для системы расплав–кристалл с учетом процесса кристаллизации, так и для всего объема теплового узла ростовых установок, чтобы с учетом рассчитанной “тепловой истории” выращивания конкретного монокристалла кремния по современным моделям дефектообразования определять закономерности процессов рекомбинации и переноса собственных точечных дефектов с их агломерацией в микродефекты в монокристаллическом кремнии. Данная статья представляет краткий обзор работ, выполненных в ИПМех РАН в этом направлении.
- Добавил в систему: Верезуб Наталия Анатольевна
Прикрепленные файлы
| № | Имя | Описание | Имя файла | Размер | Добавлен |
|---|---|---|---|---|---|
| 1. | Полный текст | MTT_2020.pdf | 1,7 МБ | 18 ноября 2020 [naverezub] |