Features of Electromagnetic Field Excitation in a Capacitive HF Discharge I. General Aspects. A Simple Model of Symmetric Dischargeстатья

Информация о цитировании статьи получена из Web of Science, Scopus
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 20 января 2021 г.