|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Взаимодействие плазмы с граничными поверхностями в ВЧ емкостном разряде низкого давлениястатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК- Авторы: Савинов В.П., Круглов М.С., Рябый В.А., Червяков А.В., В Г.Якунин
- Журнал: Ядерная физика и инжиниринг
- Том: 10
- Номер: 2
- Год издания: 2019
- Издательство: НИЯУ МИФИ
- Местоположение издательства: Москва
- Первая страница: 184
- Последняя страница: 188
- Добавил в систему: Савинов Владимир Павлович