Выберите категорию обращения:
Общие вопросы
Отчеты
Рейтинги
Мониторинговый отчёт
Диссертационные советы
Конкурсы
Ввод данных
Структура организаций
Аспирантура
Научное оборудование
Импорт педагогической нагрузки
Журналы и импакт-факторы
Тема обращения:
Описание проблемы:
Введите почтовый адрес:
ИСТИНА
Войти в систему
Регистрация
ИСТИНА ИНХС РАН
Главная
Поиск
Статистика
О проекте
Помощь
The opportunities of Rutherford backscattering spectroscopy for analysis of multilayer nanometer thin film structures
статья
Информация о цитировании статьи получена из
Web of Science
,
Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 11 ноября 2020 г.
Авторы:
Bachurin V.
, Churilov A.,
Melesov N.
, Parshin E., Rudy A.,
Trushin O.
Сборник:
Proceedings of SPIE, Proceedings Volume 11022, International Conference on Micro- and Nano-Electronics
Серия:
International Conference on Micro- and Nano-Electronics
Том:
11022
Год издания:
2019
Издательство:
SPIE
Местоположение издательства:
Bellingham, WA, United States
Первая страница:
110221I
DOI:
10.1117/12.2522103
Добавил в систему:
Бачурин Владимир Иванович