|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Acceleration of ions in a plasma accelerator with closed electron drift based on a capacitive radio-frequency dischargeстатья Исследовательская статья
Информация о цитировании статьи получена из
Web of Science,
Scopus
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 11 ноября 2020 г.
- Авторы: Shvydkiy G.V., Zadiriev I.I., Kralkina E.A., Vavilin K.V.
- Журнал: Vacuum
- Том: 180
- Год издания: 2020
- Издательство: Elsevier Ltd
- Местоположение издательства: London
- Номер статьи: 109588
- DOI: 10.1016/j.vacuum.2020.109588
- Аннотация: The dependence of the average energy of ions at an output from a radio-frequency plasma source with the geometry of a plasma accelerator with closed electron drift has been experimentally investigated. It has been shown that the area of existence of a radio-frequency discharge is wider in comparison with the direct current mode. If the discharge circuit does not allow passage of direct current, the average ion energy varies in the range of 40–90 eV. Using an open for DC discharge circuit results in an increase in the average ion energy E up to 150–340 eV. Out of three investigated working gases (Kr, Ar, Air), the highest values of E have been obtained using Kr, the lowest values of E are typical for the discharge in air.
- Добавил в систему: Задириев Илья Игоревич