СТРУКТУРНЫЙ ВКЛАД В ШЕРОХОВАТОСТЬ СВЕРХГЛАДКОЙ КРИСТАЛЛИЧЕСКОЙ ПОВЕРХНОСТИстатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 24 января 2020 г.
Аннотация:Развитие технологии обработки кристаллов (Si, сапфир αAl2O3, SiC, GaN, LiNbO3, SrTiO3 и др.)
как подложечных материалов и элементов рентгеновской оптики привело к получению сверхгладкой поверхности, на которой проявляется периодичность, присущая строению кристаллов.Периодические структуры образованы атомно-гладкими террасами и ступенями, нано и субнанометровых размеров соответственно. Предложена модель поверхности с такими наноструктурами, иопределены соотношения параметров ее шероховатости с высотой атомных ступеней. Рассчитанные по приведенным соотношениям параметры шероховатости практически совпадают с экспериментальными данными, полученными атомносиловой микроскопией с участков площадью 1 × 1 и 10 × 10 мкм на поверхности сапфировых пластин со ступенями. На основе предложенного подхода
рассчитаны минимальные параметры шероховатости вицинальных поверхностей кристаллов, которые обусловлены структурным вкладом. Проведено сравнение рельефа и параметров шероховатости поверхностей сапфировых пластин с различным качеством полировки и установлено существование размерного эффекта, заключающегося в том, что с уменьшением величины шероховатости
поверхности распределение высоты рельефа меняется от стохастического к регулярному.