Исследование параметров лазерно-индуцированных ударных волн для задач лазерной ударной обработки кремниястатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 4 августа 2021 г.
Аннотация:В представленной работе на основе техники время-разрешенной теневой фотографии были определены диапазоны энергий фемтосекундных лазерных импульсов и расстояний от точки фокусировки высокоинтенсивного (до 10^13 Вт/см^2) фемтосекундного лазерного излучения до образца, при которых возможно инициирование фазовых переходов в кремнии. Было обнаружено, что при острой фокусировке (NA = 0.5) фемтосекундного лазерного излучения ближнего ИК диапазона достигается давление в 15 ГПа, что в случае лазерной ударной обработки (ЛУО) кремния соответствует давлению 40 ГПа и превышает пороговое значение, необходимое для инициирования семейства фазовых переходов (11, 14, 33 ГПа). Давление на фронте ударной волны при ее распространении в среде быстро (за 2.5 нс) уменьшается ниже этого порогового значения, что значительно ограничивает возможные режимы работы в режиме ЛУО.