|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Электрохимическое локальное безмасковое микро/нано размерное осаждение, растворение и оксидирование металлов и полупроводников (обзор)статья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАКСтатья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 4 августа 2021 г.
- Авторы: Давыдов А.Д., Волгин В.М.
- Журнал: Электрохимия
- Том: 56
- Номер: 1
- Год издания: 2020
- Издательство: ФГБУ "Издательство "Наука"
- Местоположение издательства: Москва
- Первая страница: 56
- Последняя страница: 86
- Переводные версии: Electrochemical Local Maskless Micro/Nanoscale Deposition,Dissolution, and Oxidation of Metals and Semiconductors (A Review)
- DOI: 10.31857/s042485702001003x
- Аннотация: Обзор посвящен современным методам локальной безмасковой электрохимической обработки металлов и полупроводников с целью нанесения на их поверхность отдельных островков или углублений, их групп, рисунков по заданной программе или микро/нано 3D структур, например, металлических нитей и различных конструкций из них. Для этого используются различные методы локализации процессов электрохимического осаждения, растворения или оксидирования.
- Добавил в систему: Волгин Владимир Мирович