|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Применение ионно-лучевой обработки в процессе магнетронного напыления тонких пленок SnO2статья Исследовательская статья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 1 февраля 2021 г.
- Авторы: Алалыкин А.С., Крылов П.Н., Закирова Р.М., Федотова И.В., Костенков Н.В., Дурман Е.А.
- Журнал: Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования
- Номер: 11
- Год издания: 2019
- Издательство: ФГБУ "Издательство "Наука"
- Местоположение издательства: Москва
- Первая страница: 99
- Последняя страница: 104
- DOI: 10.1134/s1028096019110050
- Аннотация: Исследовано влияние сопутствующей ионно-лучевой обработки на структуру и свойства пленок SnO2, синтезированных методом ВЧ-магнетронного напыления при комнатной температуре, а также при 200°С. Установлено, что ионно-лучевая обработка не влияет на прозрачность, ширину запрещенной зоны полученных пленок оксида олова. Показано, что происходит изменение показателяпреломления и удельного сопротивления. При комнатной температуре пленки являются рентгеноаморфными, а при 200°C – поликристаллическими. Рентгенодифракционные и электронографические исследования показали наличие одной фазы SnO2. Ионно-лучевая обработка приводит к изменению преимущественной ориентации кристаллитов. С увеличением тока ионно-лучевой обработки размеры зерен уменьшаются.
- Добавил в систему: Алалыкин Александр Сергеевич
Прикрепленные файлы
| № | Имя | Описание | Имя файла | Размер | Добавлен |
|---|