Аннотация:Представлено исследование по оптимизации метода нанесения Ni-катализатора роста углеродныхнанотрубок (УНТ) на газодиффузионные слои (ГДС) (преимущественно углеродные ткани) методом магнетронного распыления. Впервые подобран режим магнетронного распыления Ni-катализатора, позволяющий получать равномерное покрытие металла на ГДС, необходимое для успешного синтеза УНТ. Показано, что распыление Ni в режиме постоянного тока с подачей импульсногонапряжения смещения на подложку с частотой 100 кГц и временем подачи отрицательного импульса 7 мкс позволяет получить оптимальное наноструктурированное покрытие металла с низкойудельной поверхностью и с высокой степенью равномерности нанесения на всю площадь подложки. Нанесенное Ni-покрытие выступает в качестве катализатора роста УНТ. На ГДС с нанесеннымNi-катализатором методом пиролитического газофазного осаждения выращены массивы УНТ сосредним диаметром 40 и 80 нм для гидрофобного и гидрофильного ГДС соответственно. МассивыУНТ получены непосредственно на всей поверхности углеродных подложек с высокой степеньюравномерности. Установлено, что диаметр нанотрубок в основном определяется структурой используемого ГДС.