Features of Electromagnetic Field Excitation in a Capacitive HF Discharge. II. Symmetric Discharge Completely Filling Vacuum Chamber under Symmetric and Asymmetric Excitationстатья

Информация о цитировании статьи получена из Web of Science, Scopus
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 9 апреля 2021 г.