Аннотация:В работе выполнено моделирование процессов формирования контактных областей (интерфейса) многослойной наносистемы ниобий – кобальт. Исследована морфология и состав интерфейса многослойной наносистемы. Показано, что морфология границ слоев зависит от температуры подложки, на которую происходит осаждение, и, в значительной степени, определяется подготовкой поверхности для осаждения. В работе рассмотрена модифицирование поверхности путем удаления дефектов с поверхности нанослоя. Моделирование показало, что подготовка поверхности влияет на морфологию и состав интерфейса многослойной наносистемы.