|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Особенности кинетики реактивно-ионного травления SI и SIO2 в смеси CL2+O2статья
- Авторы: Ефремов А.М., Смирнов С.А., Рыбкин В.В., Бетелин В.Б.
- Журнал: Труды НИИСИ РАН
- Том: 10
- Номер: 3
- Год издания: 2020
- Первая страница: 4
- Последняя страница: 10
- DOI: 10.25682/NIISI.2020.3.0001
- Добавил в систему: Стамов Любен Иванович