|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
ПРОБЛЕМЫ ЧИСТОТЫ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ СРЕД ПРИ ПРОИЗВОДСТВЕ ИЗДЕЛИЙ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКИ С СУБМИКРОННОЙ И НАНОМЕТРОВОЙ ТОПОЛОГИЕЙстатья
- Авторы: Балаханов М.В., Балаханов Д.М., Лесников Е.В.
- Журнал: Нанотехнологии Экология Производство
- Номер: 5(18)
- Год издания: 2012
- Первая страница: 72
- Последняя страница: 75
- Аннотация: Развитие технологии в электронной промышленности направлено на уменьшение размеров интегральных схем (ИС) и увеличение степени их интеграции (плотности). Действительность нашего времени - переход современной полупроводниковой электроники от элементов с характерным размером в микронной и субмикронной области к элементам нанометровой топологии.
- Добавил в систему: Балаханов Михаил Валентинович