Аннотация:Развитие технологии в электронной промышленности направлено на уменьшение размеров интегральных схем (ИС) и увеличение степени их интеграции (плотности). Действительность нашего времени - переход современной полупроводниковой электроники от элементов с характерным размером в микронной и субмикронной области к элементам нанометровой топологии.