|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Влияние внешних условий на физические процессы и параметры плазмы в макете ВЧ гибридной плазменной системыстатья
- Авторы: Александров А.Ф., Петров А.К., Вавилин К.В., Кралькина Е.А., Неклюдова П.А., Никонов А.М., Павлов В.Б., Айрапетов А.А., Одиноков В.В., Сологуб В.А., Павлов Г.Я.
- Журнал: МИКРОЭЛЕКТРОНИКА. Физика плазмы
- Том: 45
- Номер: 6
- Год издания: 2016
- Первая страница: 471
- Последняя страница: 479
- DOI: 10.7868/S0544126916050021
- Добавил в систему: Кралькина Елена Александровна