|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Исследование плазмостойкости электронного резиста HSQ высокого разрешения для прототипирования приборов наноэлектроникистатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАКСтатья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
- Авторы: Мяконьких А.В., Шишлянников А.В., Татаринцев А.А., Кузьменко В.О., Руденко К.В., Горнев Е.С.
- Журнал: Микроэлектроника
- Том: 49
- Номер: 5
- Год издания: 2021
- Издательство: Общество с ограниченной ответственностью Интеграция: Образование и Наука
- Местоположение издательства: Москва
- Первая страница: 333
- Последняя страница: 338
- DOI: 10.31857/S0544126921050045
- Добавил в систему: Татаринцев Андрей Андреевич