Impact of structural changes in e-beam negative resist hydrogen silsesquioxane (HSQ) to ecth-resistance at different doses of exposureтезисы доклада

Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 11 апреля 2017 г.

Работа с тезисами доклада


[1] Impact of structural changes in e-beam negative resist hydrogen silsesquioxane (hsq) to ecth-resistance at different doses of exposure / I. P. Ivanenko, V. A. Kalnov, A. V. Miakonkikh et al. // International Conference Micro- and Nanoelectronics - 2014. Book of abstracts. — Moscow-Zvenigorod, Russia, 2014. — P. O1–13.

Публикация в формате сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл скрыть