Выберите категорию обращения:
Общие вопросы
Отчеты
Рейтинги
Мониторинговый отчёт
Диссертационные советы
Конкурсы
Ввод данных
Структура организаций
Аспирантура
Научное оборудование
Импорт педагогической нагрузки
Журналы и импакт-факторы
Тема обращения:
Описание проблемы:
Введите почтовый адрес:
ИСТИНА
Войти в систему
Регистрация
ИСТИНА ИНХС РАН
Главная
Поиск
Статистика
О проекте
Помощь
The charging of PMMA-film resist in electron beam lithography
тезисы доклада
Авторы:
Evstafjeva E.N.
,
Knjazev M.A.
,
Rau E.I.
,
Svintsov A.A.
,
Tatarintsev A.A.
,
Zaitsev S.I.
Сборник:
International Conference “Micro- and Nanoelectronics – 2012”. Abstr. Book
Тезисы
Год издания:
2012
Место издания:
Moscow-Zvenigorod, Russia, 1-5 October
Первая страница:
P2-25
Добавил в систему:
Татаринцев Андрей Андреевич