|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Моделирование распыления напрострел пленок нитрида борастатья
- Авторы: Негребецкая Н.Н., Эльтеков В.А., Коллигон Д.С.
- Сборник: Взаимодействие ионов с поверхностью. Материалы XII международной конференции “ВИП - 95”
- Том: 1
- Год издания: 1995
- Место издания: Москва
- Первая страница: 34
- Последняя страница: 36
- Добавил в систему: Эльтеков Виталий Анатольевич