ИССЛЕДОВАНИЕ КРЕМНИЯ, ЛЕГИРОВАННОГО ИОНАМИ 64ZN+ В УСЛОВИЯХ ГОРЯЧЕЙ ИМПЛАНТАЦИИстатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 11 апреля 2017 г.
Аннотация:Представлены результаты визуализации структуры и идентификации состава поверхности и приповерхностного слоя СZ n-Si(100), имплантированного ионами 64Zn+ с дозой 5 · 1016/см2 и энергией 50 кэВ в условиях подогретой до 350°С подложки. Установлено, что после имплантации Zn нет аморфизации Si, а образовался только нарушенный из-за радиационных дефектов слой толщиной около 200 нм. На поверхности и в приповерхностном слое образцов обнаружены НЧ Zn с размером от 10 до 100 нм. Компьютерный анализ и картирование элементного и фазового состава стенки кратера травления FIB и поверхности показал, что в приповерхностном слое основными элементами (54%) являются Si/O/Zn. До глубины 20 нм в образце зарегистрировано наличие фазы ZnO.