|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Design of Aperiodic Multilayers for EUV Applicationsстатья
- Авторы: Tikhonravov A.V., Trubetskov M.K., Sharapova S., Wang Z.
- Сборник: Optical Interference Coatings, M. Tilsch and D. Ristau, eds., OSA Technical Digest (online)
- Год издания: 2013
- Издательство: Optical Society of America
- Местоположение издательства: United States
- Первая страница: TB.8
- DOI: 10.1364/OIC.2013.TB.8
- Аннотация: We show that design techniques elaborated for conventional optical coating allow one to design EUV coatings with superior properties. High potential of designs composed of more than two materials is demonstrated.
- Добавил в систему: Тихонравов Александр Владимирович