The effect of microrelief evolution on the angular dependence of polycrystalline Cu sputtering yieldстатья

Статья опубликована в высокорейтинговом журнале

Информация о цитировании статьи получена из Scopus, Web of Science
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 18 декабря 2013 г.

Работа с статьей


[1] The effect of microrelief evolution on the angular dependence of polycrystalline cu sputtering yield / N. N. Andrianova, A. M. Borisov, E. S. Mashkova et al. // Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms. — 2005. — Vol. 230, no. 1-4. — P. 583–588. [ DOI ]

Публикация в формате сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл скрыть