Comparative investigation of Ti-Si-N films magnetron sputtered using Ti5Si3+Ti and Ti5Si3+TiN targetsстатья

Статья опубликована в высокорейтинговом журнале

Информация о цитировании статьи получена из Scopus, Web of Science
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 18 июля 2013 г.

Прикрепленные файлы


Имя Описание Имя файла Размер Добавлен
1. Полный текст full text 027_SCT_2004.pdf 1,6 МБ 13 ноября 2018 [skulinich]