|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Carbon system film syntheses on a chip by multiple microplasma CVDстатья
Информация о цитировании статьи получена из
Scopus
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 28 мая 2015 г.
- Авторы: Ito T., Katahira K., Asahara A., Kulinich S.A., Terashima K.
- Журнал: Science and Technology of Advanced Materials
- Том: 4
- Номер: 1
- Год издания: 2003
- Издательство: National Institute for Materials Science and Elsevier BV Japan
- Местоположение издательства: Japan
- Первая страница: 559
- Последняя страница: 564
- DOI: 10.1016/j.stam.2003.09.016
- Добавил в систему: Кулинич Сергей Алексеевич
Прикрепленные файлы
| № | Имя | Описание | Имя файла | Размер | Добавлен |
|---|---|---|---|---|---|
| 1. | Полный текст | full text | 025_STAM_2003.pdf | 374,9 КБ | 13 ноября 2018 [skulinich] |