|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Optimizing the detector configuration for SEM topographic contrast by using a Monte Carlo simulationстатья
Информация о цитировании статьи получена из
Web of Science,
Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 19 июля 2013 г.
- Авторы: Suzuki Makoto, Borisov S., Ito Hiroyuki, Babin Sergey;
- Сборник: Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering
- Год издания: 2010
- Первая страница: 772910
- Последняя страница: 772910-7
- DOI: 10.1117/12.859775
- Добавил в систему: Борисов Сергей Сергеевич