Ultra-High Sensitivity MEMS Pressure Sensor Utilizing Bipolar Junction Transistor for Pressures Ranging From −1 to 1 kPaстатья

Информация о цитировании статьи получена из Scopus, Web of Science
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 17 августа 2021 г.

Прикрепленные файлы


Имя Описание Имя файла Размер Добавлен
1. Preprint._Ultra-High_Sensitivity_MEMS_Pressure_Sensor_Uti... Preprint._Ultra-High_Sensitivity_MEMS_Pressure_Sensor_Uti... 868,5 КБ 6 августа 2021 [BasovMikhail]