Анализ изображений оптических элементов в проекционной фотолитографии

Автор: Рыжикова Ю.В.
Сборник: Сборник тезисов докладов Международной школы-конференции молодых ученых «Математика, физика, информатика и их приложения в науке и образовании»
Тезисы
Год издания: 2016
Место издания: М.: Московский технологический университет (МИРЭА) Москва
Первая страница: 176
Последняя страница: 177
Аннотация: Разработаны программные и аналитические средства, позволяющие существенно упростить геометрический анализ фотошаблона. Полученные аналитические соотношения могут быть использованы для анализа изображений апериодических объектов, границы которых строятся как замкнутые ломаные линии.
Добавил в систему: Рыжикова Юлия Владимировна

	ИСТИНА	Войти в систему Регистрация
	ИСТИНА ИНХС РАН
	Главная Поиск Статистика О проекте Помощь

ИСТИНА