Влияние внешней электрической цепи на параметры плазмыв канале высокочастотного ускорителя с замкнутым дрейфом электроновстатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 4 марта 2022 г.
Аннотация:Экспериментально исследовано аксиальное распределение потенциала плазмы, концентрации и температуры электронов в ВЧ емкостном источнике плазмы, имеющемгеометрию ускорителя с замкнутым дрейфом электронов. Рассмотрены два случаяорганизации внешней электрической цепи разряда. В первом случае электроды замыкались по постоянному току, во втором – размыкались. Показано, что замыканиеэлектродов по постоянному току приводит к существенному росту потенциалаплазмы и концентрации электронов. Вблизи электродов в ряде случаев наблюдаютсялокальные максимумы температуры и плотности плазмы, которые могут быть связаны с возникновением азимутального дрейфа электронов в скрещенных электрическом и магнитном полях.