|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Вычисление на ЭВМ температурных полей в процессе электронно-лучевого экспонирования при изготовлении фотошаблонов БИСстатья
- Авторы: Грачев Е.А., Кузьмин И.Ю., Ошарин О.В., Цыганков В.Ю.
- Журнал: Вопросы радиоэлектроники. Серия ЭВТ
- Номер: 5
- Год издания: 1983
- Первая страница: 62
- Последняя страница: 69
- Аннотация: Описаны основные алгоритмы и особенности программной реализации модели нагрева многослойной пластины фотошаблона при обработке электронным лучом
- Добавил в систему: Кузьмин Игорь Ярьевич