Выберите категорию обращения:
Общие вопросы
Отчеты
Рейтинги
Мониторинговый отчёт
Диссертационные советы
Конкурсы
Ввод данных
Структура организаций
Аспирантура
Научное оборудование
Импорт педагогической нагрузки
Журналы и импакт-факторы
Тема обращения:
Описание проблемы:
Введите почтовый адрес:
ИСТИНА
Войти в систему
Регистрация
ИСТИНА ИНХС РАН
Главная
Поиск
Статистика
О проекте
Помощь
Approaches to determining curvature of wafers by their topography
статья
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Авторы:
Dedkova A.A.
,
Florinsky I.V.
,
Djuzhev N.A.
Журнал:
Physics Uspekhi
Том:
65
Номер:
7
Год издания:
2022
Издательство:
Russian Academy of Sciences
Местоположение издательства:
Russian Federation
Первая страница:
706
Последняя страница:
722
DOI:
10.3367/ufne.2021.10.039076
Добавил в систему:
Флоринский Игорь Васильевич