|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Approaches to determining curvature of wafers by their topographyстатья
- Авторы: Dedkova A.A., Florinsky I.V., Djuzhev N.A.
- Журнал: Physics Uspekhi
- Том: 65
- Номер: 7
- Год издания: 2022
- Издательство: Russian Academy of Sciences
- Местоположение издательства: Russian Federation
- Первая страница: 706
- Последняя страница: 722
- DOI: 10.3367/ufne.2021.10.039076
- Добавил в систему: Флоринский Игорь Васильевич