|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Сравнительное сопоставление элементного состава пленок ЦТС, осаждаемых магнетронным распылением в аргоне и ксеноне, по данным рентгеноспектрального микроанализатезисы доклада
- Авторы: Бешенков В.Г., Знаменский А.Г., Марченко В.А., Некрасов А.Н.
- Сборник: Тезисы докладов объединённой конференции “Электронно-лучевые технологии и рентгеновская оптика в микроэлектронике”
- Тезисы
- Год издания: 2021
- Место издания: ИПТМ РАН г. Черноголовка
- Первая страница: 62
- Последняя страница: 63
- Добавил в систему: Некрасов Алексей Николаевич
Прикрепленные файлы
| № | Имя | Описание | Имя файла | Размер | Добавлен |
|---|---|---|---|---|---|
| 1. | Полный текст | 2021Beshenkov.pdf | 306,3 КБ | 1 ноября 2021 [NekrasovAN1958] |