|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Fabrication and Study of Parameters and Properties of Nanostructured Membranes for MEMS Devicesстатья
Информация о цитировании статьи получена из
Scopus,
Web of Science
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 24 ноября 2021 г.
- Авторы: Dyuzhev N.A., Gusev E.E., Gryazneva T.A., Dedkova A.A., Dronova D.A., Kireev V.Y., Kirilenko E.P., Migunov D.M., Novikov D.V., Patyukov N.N., Presnukhina A.A., Bakun A.D., Ermakov D.S.
- Журнал: Nanotechnologies in Russia
- Том: 12
- Номер: 7-8
- Год издания: 2017
- Первая страница: 426
- Последняя страница: 437
- DOI: 10.1134/S1995078017040073
- Аннотация: The technology of forming blanks of nanostructured membranes for MEMS devices based on alternating Si3N4/SiO2 layers with a nanometer thickness has been developed. A comprehensive study of the structure and composition of membranes using microanalysis methods based on spectroscopic ellipsometry, scanning electron microscopy (SEM), secondary ion mass spectrometry (SIMS), Auger electron spectroscopy (AES), probe profilometry, and X-ray diffractometry is performed. The mechanical stress in silicon wafers with blanks of nanostructured membranes is experimentally determined.
- Добавил в систему: Дедкова Анна Александровна