|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Изготовление и исследование параметров и свойств наноструктурированных мембран для МЭМС-приборовстатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК- Авторы: Дюжев Н.А., Гусев Е.Э., Грязнева Т.А., Дедкова А.А., Дронова Д.А., Киреев В.Ю., Кириленко Е.П., Мигунов Д.М., Новиков Д.В., Патюков Н.Н., Преснухина А.А., Бакун А.Д., Ермаков Д.С.
- Журнал: Российские нанотехнологии
- Том: 12
- Номер: 7-8
- Год издания: 2017
- Издательство: НИЦ «Курчатовский институт»
- Местоположение издательства: Москва
- Первая страница: 97
- Последняя страница: 106
- DOI: 10.1134/S1992722317040124
- Аннотация: Разработана технология формирования заготовок наноструктурированных мембран для МЭМС-приборов на основе чередующихся слоев Si3N4/SiO2 с нанометровыми толщинами. Проведено комплексное исследование структуры и состава мембран с применением методов микроанализа на основе спектральной эллипсометрии, растровой электронной микроскопии (РЭМ), вторичной ионной масс-спектрометрии (ВИМС), электронной оже-спектроскопии (ЭОС), зондовой профилометрии и рентгеновской дифрактометрии. Экспериментально определены механические напряжения в кремниевых пластинах с заготовками наноструктурированных мембран.
- Добавил в систему: Дедкова Анна Александровна