Аннотация:В работе представлен обзор экспериментальных данных, отражающих суть эффекта формирования структурных повреждений в КМОП-матрице при воздействии протонов низкой интенсивности (5Е + 05 п/см2) с различными энергиями - 50, 100, 150 и 200 МэВ. Облучение образцов проводилось с помощью комплекса протонной терапии «Прометеус».