|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Кинетика и механизмы реактивно-ионного травления SI и SIO2 в плазме смеси HBR + O2статья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАКСтатья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 8 апреля 2022 г.
- Авторы: Ефремов А.М., Бетелин В.Б., Kwon K.H.
- Журнал: Микроэлектроника
- Том: 49
- Номер: 6
- Год издания: 2020
- Издательство: Общество с ограниченной ответственностью Интеграция: Образование и Наука
- Местоположение издательства: Москва
- Первая страница: 403
- Последняя страница: 408
- DOI: 10.31857/s0544126920060034
- Добавил в систему: Стамов Любен Иванович