Фотолюминесцентное исследование структурной эволюции аморфных и кристаллических нанокластеров кремния при термическом отжиге слоев субоксида кремния различной стехиометриистатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Информация о цитировании статьи получена из
Web of Science,
Scopus
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 9 ноября 2017 г.
Аннотация:Методом фотолюминесценции изучено влияние стехиометрии тонких пленок субоксида кремния SiOx
на процессы формирования и эволюции кремниевых нанокластеров при термическом отжиге. Образцы
получены путем термического распыления мишени SiO в атмосфере кислорода с последующим осаждением
слоя SiOx толщиной 500 нм на подложку из кремния. Морфология и размер кремниевых нанокластеров
определялись путем анализа спектров и кинетики фотолюминесценции. Проведено сравнительное исследование люминесцентных свойств тонких слоев SiOx с параметрoм стехиометрии x = 1.10, 1.29, 1.56 и 1.68,
отожженных при различных температурах в диапазоне от 850 до 1200◦C. Изучено влияние температуры
отжига, параметра стехиометрии исходной пленки субоксида кремния, а также размеров нанокластеров
кремния на времена спада фотолюминесценции.