|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
ВЛИЯНИЕ ИОННОГО ОБЛУЧЕНИЯ НА ПЛАЗМОХИМИЧЕСКУЮ СТОЙКОСТЬ ЭЛЕКТРОНОРЕЗИСТОВстатья
- Авторы: Блюмкин Л.М., Епифанов Г.И., Кондрашов П.Е., Ляхов
- Сборник: Материалы 3-ей отраслевой конференции «Промышленная технология и оборудование ионной имплантации»
- Год издания: 1984
- Место издания: Таллин
- Первая страница: 74
- Аннотация: Рассмотрено влияние ионного обсечения ионами средних и высоких энергий на изменение стойкости электронорезистов при плазменном травлении
- Добавил в систему: Кондрашов Павел Евгеньевич