Выберите категорию обращения:
Общие вопросы
Отчеты
Рейтинги
Мониторинговый отчёт
Диссертационные советы
Конкурсы
Ввод данных
Структура организаций
Аспирантура
Научное оборудование
Импорт педагогической нагрузки
Журналы и импакт-факторы
Тема обращения:
Описание проблемы:
Введите почтовый адрес:
ИСТИНА
Войти в систему
Регистрация
ИСТИНА ИНХС РАН
Главная
Поиск
Статистика
О проекте
Помощь
ВЛИЯНИЕ ИОННОГО ОБЛУЧЕНИЯ НА ПЛАЗМОХИМИЧЕСКУЮ СТОЙКОСТЬ ЭЛЕКТРОНОРЕЗИСТОВ
статья
Авторы:
Блюмкин Л.М.
, Епифанов Г.И.,
Кондрашов П.Е.
, Ляхов
Сборник:
Материалы 3-ей отраслевой конференции «Промышленная технология и оборудование ионной имплантации»
Год издания:
1984
Место издания:
Таллин
Первая страница:
74
Аннотация:
Рассмотрено влияние ионного обсечения ионами средних и высоких энергий на изменение стойкости электронорезистов при плазменном травлении
Добавил в систему:
Кондрашов Павел Евгеньевич